您是否知道真空度对于半导体生产的重要性呢?
人们常说,真空度是半导体加工的关键因素之一。但究竟什么是真空度呢?真空度是指气体的压力在某一范围时迅速降至低于此范围的程度。半导体生产自1920年代开始,其设备名称和现代真空科学紧密相联,几乎在半导体生产中所有的步骤都需要使用真空设备。在半导体生产的每一步骤中,都需要不同程度的真空度。例如,刻蚀步骤需要高真空度以便移除杂质,而沉积步骤需要低真空度以便增加生长效率。
同时,由于表面吸附造成的污染问题最近被提出,真空度也被考虑在内。实际上,真空度并不意味着完美的真空,而是精度更高的控制真空等级以保证制造过程的稳定性。